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高分辨XRD
2022年09月30日 18:24 返回列表


设备名称高分辨XRD
生产厂家/型号Malvernpanalytical/XPert III MRD XRD
主要配置θ/2θ可读最小步长可以达到0.0001°以下，角度重现性在0.0002°以下
服务内容可实现对半导体材料的结构和物相鉴定，以及通过进行Rocking Curve、Omega-2Theta扫描，评价半导体材料结晶质量，分辨率≤25arcsec，同时可以测定薄膜厚度，组分和弛豫度、粗糙度等


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